洁净度分级
1963年,美国出了个洁净室联邦标准Fed Std 209。在209标准中,洁净室按环境中每立方英尺空间≥0.5μm的粉尘最大数量限度分成若干级别,如100级、10,000级、100,000级。我们过去的洁净室标准也是按这种方法分级的。
1999年,国际标准化组织ISO颁布了洁净室国际标准ISO14644-1《洁净室与受控洁净环境,第一部分:空气洁净度分级》。ISO规定的洁净度等级以及传统分级的具体数值见下表:
用公式表示上述指标:
Cn = 10N × (0.1/D)2.08
式中:Cn — 每立方米空间最大允许大于某粒径颗粒物的数量浓度;
N — ISO洁净度分级数;
D — 颗粒物尺度,单位为微米;
0.1 — 常数,单位为微米。
我们洁净室标准新的修订稿中采纳了ISO分级。但是,人们已经说惯了“百级”、“万级”、,它顺口、易记,今后一段时间内,人们可能照旧说下去,直到新一代设计师们不再记得老的分级和英制计量单位。
说洁净度应该对应洁净室的状态:空态(新建,空屋子),静态(设备就位,无人员),动态(正常工作)。具体工程所说的“洁净度”是指哪种状态,要由用户与设计、供货等方面协议确定并明文规定。忘记对状态做规定,大家都会有空子可钻。
附:GMP规定的洁净度
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